電子束曝光系統(tǒng)(EBL)

    功能:電子裝調(diào)
    |
    儀器型號(hào):JC Nabity NPGS V9.1
    |
    發(fā)布人:管理員
    詳情 details

    利用電子束在光致抗蝕劑表面上掃描,直接產(chǎn)生圖案。

    曝光尺寸為幾十納米到微米級(jí)可調(diào)。

    最小線寬:40-50 nm,束斑選擇:納米級(jí)是2.0 微米級(jí)是2.5 。

    面積:200*200 μm,加速電壓:30 kV。


    相似推薦
    免费A级毛片无码A,亚洲免费AV在线,熟妇日本亚洲欧美,国产高清无码免费